




實驗室氣路安裝要求
1、所有氣體管路都由高質(zhì)量的、完全退火型、無縫連接的不銹鋼管組成。銅管只使用在氣體管路的末端,對氣體純度要求不是太嚴格的地方。
2、氣路安裝管道不得和電纜、導電線路同架鋪設。
3、易1燃氣體,如乙1炔需要和其他氣體分開單獨引入。氫氣管道若與其他可燃氣體管道平行敷設時,其間距不應小于0.5M;交叉敷設時間距不應小于0.25M。分層敷設時氫氣管道應位于上方。
4、壓縮空氣在管路上有過濾雜質(zhì)和水分的凈化裝置,此凈化裝置需要并聯(lián)一路,用單獨的閥門隔離,以方便對過濾裝置進行維修。
5、高純氣體管路的連接為無縫焊接。連接到閥門或調(diào)節(jié)裝置時才可以使用接頭配件。
6、每個實驗室都要有單獨的控制閥、減壓閥和壓力表。
7、引到工作臺的氣體管路要安裝單獨的控制閥。工作臺上要均勻排放各種氣體的控制閥門。在氦氣管路前面建議安裝氣體凈化裝置。
8、每隔1.5米左右,氣體管路就需要有支架。另外根據(jù)氣體管路彎曲的半徑,設置合適的支架位置。所有彎曲處都要有支撐。氣路安裝管路所有的支架都要進行鍍鋅防腐處理。
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特種氣體的應用
電子工業(yè)是當今推動科技發(fā)展的高新技術產(chǎn)業(yè),由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高,為有別于其它領域應用的氣體,人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體,它是當今興起的高技術含量、高投入、高附加值的高新技術產(chǎn)業(yè)。電子行業(yè)常用的特氣超過三十余種,按危險性質(zhì)可分為不燃氣體、可燃氣體、氧化性氣體、腐蝕性氣體、毒性氣體等。按照物理形態(tài)可分為壓縮氣體、液化氣體和低溫氣體。光化學反應、動植物實驗室和金屬腐蝕等研究用的混合氣因關系到公害問題,所以其中二氧化氮、二氧1化硫和硫1化氫等都要保持低濃度。
特種氣體的應用領域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領域,其中主要應用于半導體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導體工業(yè)中應用的有110余種單元特種氣體,其中常用的有20~30種。
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試驗室集中供氣系統(tǒng)的特點
1、特點:試驗室要求使用載氣流量恒定、氣體純度高,為試驗室選用的分析設備提供量值和壓力穩(wěn)定的氣體。
2、經(jīng)濟性:建一個集中的氣瓶間可以節(jié)省有限的試驗室空間,更換氣瓶時不需要切斷氣體,保證氣體的連續(xù)供應。使用者只需管理較少的氣瓶,支付較少的氣瓶租金,因為使用同一氣體的所有使用點來自于同一個氣源。此種供應方式終會減少運輸費用,減少退還給氣體公司的空瓶中的余氣量,以及良好的氣瓶管理。氦質(zhì)譜檢漏儀真空檢漏的方法很多,氦質(zhì)譜檢漏儀的使用大大提升了檢漏工作效率。
3、使用率:集中管道供應系統(tǒng)可以將氣體出口放置在使用點處,這樣的話可以更合理的設計工作場所。
4、安全性:保證其儲存和使用的安全性。保障分析測試人員在實驗中免受有毒有害氣體的侵害。
氦質(zhì)譜檢漏儀
隨著科技的迅猛發(fā)展,氦質(zhì)譜檢漏儀及其應用技術也在不斷發(fā)展和究善。各國的設備廠商相繼推出了多種類烈的氦質(zhì)譜檢漏儀,廣泛應用丁航空航天,電力電子,汽車等各個行業(yè),綜觀1新氦質(zhì)譜檢漏儀的性能特點發(fā)現(xiàn),氦質(zhì)譜檢漏儀正向著高靈敏度、自動化、寬程、等先進方向發(fā)展,這些特點很好地滿足了當前檢漏應用的需求,也極大地1推動了氮質(zhì)譜檢漏技術的不斷發(fā)展。1、內(nèi)向檢漏法(噴氦法)采用管道內(nèi)部抽真空,外部噴氦氣的方法檢漏,測試管路系統(tǒng)的泄漏率。
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